描述
產品參數
- 測量范圍:1×10^-9 ~ 1000 Torr
- 精度:+/- 15%(在10^-8 Torr ~ 10^-3 Torr 范圍內)
- 重量:1.1 磅(約0.5 公斤)
- 尺寸:直徑 2.75 英寸(約70毫米),高度1.75 英寸(約44毫米)
產品規格
- 真空計種類:Bayard-Alpert Ionization Gauge
- 陰極材料:Iridium
- 最大耐熱溫度:200°C
- 輸出信號:0 ~ 10V
- 供電電壓:15 ~ 30VDC
應用領域
- 半導體加工
- 材料科學研究
- 光學薄膜沉積
- 航空航天工業
產品使用說明
- 確認真空計的電源和輸出信號連接正確。
- 將真空計安裝在需要測量真空度的位置。
- 打開電源,等待真空計預熱5分鐘。
- 通過輸出信號讀取真空度數據。
中文產品介紹
INFICON 0190-51546REV03 真空計是一款高精度的Bayard-Alpert離子化真空計。該真空計可測量范圍廣,精度高,重量輕,尺寸小,非常適合用于半導體加工、材料科學研究、光學薄膜沉積、航空航天工業等領域的真空度測量。
技術說明
Bayard-Alpert離子化真空計通過將真空中的氣體離子化來測量真空度。當氣壓很低時,僅有很少的氣體分子存在,這些分子會在真空計內的電場下被離子化,離子會沿著電場移動并被計數器捕獲,從而測量出真空度。
常見問題解答
- 真空計輸出信號不穩定怎么辦? 答:確認電源電壓是否正常,防止電壓波動對輸出信號產生影響。同時,檢查真空計是否安裝正確,防止外界干擾對輸出信號產生影響。
- 真空計讀數異常怎么辦? 答:確認真空計是否受到外界干擾,比如電磁干擾、機械振動等。同時,檢查真空計的陰極是否需要更換。
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