描述

產品概述

LAM 839-101612-885是一款由LAM Research Corporation生產的用于晶圓制造設備的電磁卡盤。該卡盤用于固定和旋轉晶圓，使其能夠進行蝕刻、沉積和其他工藝步驟。該卡盤以其高精度、高可靠性和高速度而著稱。

產品規格

參數值

型號839-101612-885

晶圓尺寸8英寸

負載能力25公斤

旋轉速度0-4000 rpm

加速度5 g

精度±5微米

可靠性MTBF>10,000小時

速度快速

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功能特點

高精度:該卡盤具有高精度，可確保晶圓的精確定位和旋轉。

高可靠性:該卡盤采用高品質的元件和嚴格的質量控制流程制造，可確保其具有極高的可靠性。

高速度:該卡盤具有快速的速度，可滿足高吞吐量應用的需求。

易用性:該卡盤具有直觀的接口和易于使用的軟件，可方便用戶進行操作。

多種可選配置:該卡盤提供多種可選配置，可滿足不同的應用需求。

應用領域

LAM 839-101612-885電磁卡盤通常應用于以下晶圓制造工藝：

蝕刻:用于去除晶圓上的多余材料。

沉積:用于在晶圓上沉積一層材料。

擴散:用于將摻雜劑擴散到晶圓中。

光刻:用于將圖案轉移到晶圓上。

清洗:用于清潔晶圓表面。

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