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ZYGO 8070-0279-01 產品詳情
概述
ZYGO 8070-0279-01 是一款表面形貌測量設備，用于測量光學元件、半導體、光學薄膜等高精度表面的形貌。它采用干涉測量技術，可以提供高精度、高分辨率的表面形貌數據。該設備具有以下特點：
- 高精度: 測量精度優于 0.1 nm
- 高分辨率: 測量分辨率優于 1 μm
- 大測量范圍: 測量范圍可達 100 mm x 100 mm
- 非接觸測量: 無需接觸樣品表面，避免損壞樣品
- 快速測量速度: 測量速度可達 10 fps
- 易于使用: 軟件界面友好，操作簡單
應用
ZYGO 8070-0279-01 廣泛應用于以下領域：
- 光學元件制造: 用于測量光學鏡片、棱鏡、反射器等光學元件的表面形貌
- 半導體制造: 用于測量晶圓、掩模等半導體器件的表面形貌
- 光學薄膜涂覆: 用于測量光學薄膜的厚度和均勻性
- 精密機械加工: 用于測量精密機械零件的表面形貌
- 科研實驗: 用于研究材料表面形貌與光學性能的關系
規格
- 光源: 氦氖激光器
- 波長: 632.8 nm
- 測量范圍: 100 mm x 100 mm
- 測量精度: 優于 0.1 nm
- 測量分辨率: 優于 1 μm
- 測量速度: 10 fps
- 軟件: ZYGO MetroPro 軟件
