描述

產品概述

LAM 839-101612-885是一款由LAM Research Corporation生產的ESC電動夾持器，用于在半導體制造過程中夾持晶圓。該夾持器采用堅固耐用的設計，可提供高精度和可靠性，并具有以下特點：

額定負載：30 kg

夾持力：150 N

開合速度：0.5秒

精度：±5μm

重復性：±2μm

使用壽命：>100萬次循環

通訊接口：RS232

應用領域

LAM 839-101612-885電動夾持器通常應用于以下半導體制造工藝：

晶圓拾取和放置:將晶圓從一個位置移動到另一個位置。

晶圓檢測:檢查晶圓上的缺陷。

晶圓清潔:清除晶圓上的灰塵和污染物。

晶圓蝕刻:在晶圓上形成微型電路圖案。

晶圓沉積:在晶圓上沉積薄膜材料。

產品規格

參數值

型號839-101612-885

額定負載30 kg

夾持力150 N

開合速度：0.5秒

精度±5μm

重復性：±2μm

使用壽命：>100萬次循環

通訊接口：RS232

尺寸：200 mm x 150 mm x 100 mm

重量：5 kg

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功能特點

高精度:該夾持器采用高精度的伺服電機和先進的控制技術，可提供高精度的晶圓夾持。

高可靠性:該夾持器采用堅固耐用的設計和嚴格的質量控制流程制造，可確保其具有極高的可靠性。

易用性:該夾持器具有直觀的界面和易于使用的軟件，可方便用戶進行配置和維護。

可擴展性:該夾持器支持多種通訊接口，可擴展其功能以滿足不同的應用需求。

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