描述

概述

LAM 719-101612-887是一款用于等離子體刻蝕機的靜電吸盤組件。它由多種部件組成，包括：

基板

吸盤

真空管路

電源供應

控制單元

719-101612-887組件用于將晶圓牢固地吸附在等離子體刻蝕機的腔室中，以便進行刻蝕工藝。該組件具有以下特點：

高精度：可確保晶圓的精確定位，從而獲得均勻的刻蝕效果。

高可靠性：采用可靠耐用的設計，可確保長期可靠運行。

易于維護：易于拆卸和更換部件。

應用

719-101612-887組件適用于各種等離子體刻蝕機，用于刻蝕各種類型的晶圓材料，包括硅、砷化鎵、氮化鎵等。

規格

基板尺寸：?200 mm

吸盤數量：12個

真空管路：不銹鋼

電源供應：24 V DC

控制單元：可編程邏輯控制器(PLC)

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