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AMAT 0090-00224
AMAT 0090-00224產(chǎn)品描述
產(chǎn)品概述
AMAT 0090-00224是一款用于半導(dǎo)體制造的蝕刻腔體。它具有以下特點(diǎn)：
高精度：采用先進(jìn)的蝕刻工藝，可實(shí)現(xiàn)高精度的蝕刻結(jié)果。
高效率：蝕刻速度快，生產(chǎn)效率高。
高均勻性：蝕刻均勻性好，可確保產(chǎn)品質(zhì)量。
易于使用：操作簡(jiǎn)單，維護(hù)方便。
產(chǎn)品規(guī)格
型號(hào)：AMAT 0090-00224
蝕刻工藝：RIE
蝕刻室尺寸：100mm x 100mm
蝕刻速度：10μm/min
蝕刻均勻性：±1%
電源：220V AC
功耗：1kW
尺寸：1200mm x 800mm x 600mm
重量：500kg
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
微電子制造
光學(xué)元件制造
其他需要蝕刻工藝的應(yīng)用領(lǐng)域
