描述

產(chǎn)品名稱:AMAT 0190-30354 Producer GT UV Chamber

產(chǎn)品概述:

AMAT 0190-30354 Producer GT UV Chamber是一款用于半導(dǎo)體制造工藝中的紫外光刻刻蝕裝置。它采用高精度光學(xué)系統(tǒng)和高強(qiáng)度紫外光源，可實(shí)現(xiàn)精確的圖案轉(zhuǎn)移和高深寬比的刻蝕。該裝置適用于各種類型的半導(dǎo)體器件制造，包括集成電路、微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)和光電器件。

產(chǎn)品特點(diǎn):

高精度：采用高精度光學(xué)系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)精確的圖案轉(zhuǎn)移。

高深寬比：采用高強(qiáng)度紫外光源，可實(shí)現(xiàn)高深寬比的刻蝕。

高可靠性：采用成熟的工藝技術(shù)，確保產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性。

易于使用：提供友好的人機(jī)界面，方便操作和維護(hù)。

產(chǎn)品規(guī)格:

光源：汞燈或氪燈

波長(zhǎng)：193nm、248nm、355nm等

功率：可定制

曝光面積：可定制

分辨率：可定制

深寬比：可定制

產(chǎn)品應(yīng)用:

集成電路制造

微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)制造

光電器件制造

其他半導(dǎo)體器件制造

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