描述

683B-23795? MKS控制閥

產品參數

• 壓力范圍：0-1000Torr
• 流量范圍：0-10SLM
• 最大漏率：2×10^-9
• 介質溫度：-20°C 到 70°C

產品規格

• 閥體材質：316不銹鋼
• 尺寸：1/4英寸
• 連接方式：VCR
• 驅動方式：線性電機

應用領域

• 半導體制造
• 光刻機
• 真空熱處理

產品使用說明

1. 確保閥門安裝正確，連接口完全密封。
2. 打開電源，啟動控制器，設置閥門參數。
3. 調節閥門開度，以達到所需的壓力或流量。

產品介紹

MKS 683B-23795 控制閥是一種高精度、高可靠性的閥門，適用于半導體制造、光刻機、真空熱處理等領域。該閥門采用316不銹鋼材質，VCR連接方式，線性電機驅動，具有優異的流量控制和壓力控制能力，可在復雜工作環境下穩定工作。

技術說明

MKS 683B-23795 控制閥采用先進的數字控制技術，可實現高精度流量和壓力控制。閥門的線性電機驅動方式具有高速響應能力，可在短時間內快速調節閥門開度。閥門的316不銹鋼材質具有良好的耐腐蝕性能，適用于多種介質。

常見問題解答

1. Q: 閥門的最大漏率是多少？ A: 閥門的最大漏率為2×10^-9。
2. Q: 閥門的尺寸是多少？ A: 閥門的尺寸為1/4英寸。

貨期問題

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