CM330 LEYBOLD渦旋分子泵

CM330 LEYBOLD渦旋分子泵

產品參數

  • 泵速:330 L/s
  • 泵類型:渦旋分子泵
  • 泵重量:約 70 kg
  • 泵高:約 510 mm
  • 泵直徑:約 255 mm
  • 泵進口口徑:DN 63 ISO-K
  • 泵出口口徑:DN 16 ISO-KF

產品規格

  • 最大氣體吸收量:3.3 × 10^-2 mbar l/s
  • 最大氣體耗散量:5.0 × 10^-8 mbar l/s
  • 進氣口最大允許壓力:1.2 × 10^3 Pa
  • 加熱溫度:60 ℃
  • 運行溫度范圍:10 ℃ – 40 ℃
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  • 地址:太原市杏花嶺區解放路175號萬達中心A座3301

描述

CM330 LEYBOLD渦旋分子泵

產品參數

  • 泵速:330 L/s
  • 泵類型:渦旋分子泵
  • 泵重量:約 70 kg
  • 泵高:約 510 mm
  • 泵直徑:約 255 mm
  • 泵進口口徑:DN 63 ISO-K
  • 泵出口口徑:DN 16 ISO-KF

產品規格

  • 最大氣體吸收量:3.3 × 10^-2 mbar l/s
  • 最大氣體耗散量:5.0 × 10^-8 mbar l/s
  • 進氣口最大允許壓力:1.2 × 10^3 Pa
  • 加熱溫度:60 ℃
  • 運行溫度范圍:10 ℃ – 40 ℃

應用領域

LEYBOLD CM330 渦旋分子泵主要用于以下領域:

  • 半導體制造
  • 光學鍍膜
  • 光刻機
  • 真空冶金

產品使用說明

  • 在使用之前,請先閱讀產品手冊并按照說明操作。
  • 在安裝渦旋分子泵時,請確保其垂直安裝。
  • 在使用渦旋分子泵時,請勿將其用于氧氣或氧化性氣體的抽取。
  • 在清潔渦旋分子泵時,請勿使用含有酸性或堿性物質的清潔劑。

產品介紹

LEYBOLD CM330 渦旋分子泵是一款高效、可靠的真空泵,適用于半導體、光學鍍膜、光刻機和真空冶金等領域。它具有高泵速、低氣體吸收量和耗散量、低振動和噪音等優點。

技術說明

LEYBOLD CM330 渦旋分子泵的主要技術參數如下:

  • 泵速:330 L/s
  • 泵類型:渦旋分子泵
  • 最大氣體吸收量:3.3 × 10^-2 mbar l/s
  • 最大氣體耗散量:5.0 × 10^-8 mbar l/s
  • 進氣口最大允許壓力:1.2 × 10^3 Pa
  • 加熱溫度:60 ℃
  • 泵重量:約 70 kg
  • 泵高:約 510 mm
  • 泵直徑:約 255 mm
  • 泵進口口徑:DN 63 ISO-K
  • 泵出口口徑:DN 16 ISO-KF

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