描述
RPS MKS AX-7670 0190-47768 AMAT HDP CVD RKS控制系統(tǒng)
產(chǎn)品介紹
RPS MKS AX-7670 0190-47768 AMAT HDP CVD RKS是一款高品質(zhì)的反應(yīng)控制系統(tǒng),適用于化學(xué)氣相沉積反應(yīng)中的流量控制和壓力控制。該系統(tǒng)采用先進(jìn)的技術(shù),確保了高精度和可靠性。
技術(shù)說明
RPS MKS AX-7670 0190-47768 AMAT HDP CVD RKS采用多種先進(jìn)的技術(shù),包括數(shù)字信號處理、PID控制和高精度傳感器。它可以實時監(jiān)測和控制反應(yīng)中的流量和壓力,從而實現(xiàn)對反應(yīng)過程的精確控制。
產(chǎn)品說明
RPS MKS AX-7670 0190-47768 AMAT HDP CVD RKS由高精度傳感器、控制器和軟件組成。該系統(tǒng)可以實現(xiàn)對反應(yīng)過程中多種氣體的流量和壓力控制,并提供實時數(shù)據(jù)記錄和遠(yuǎn)程監(jiān)控功能。
產(chǎn)品參數(shù)
- 流量范圍:0~1000sccm
- 壓力范圍:0~1000Torr
- 精度:±0.5%
- 響應(yīng)時間:<50ms
- 通訊接口:RS232/RS485
產(chǎn)品規(guī)格
- 尺寸:200mm x 100mm x 50mm
- 重量:1kg
- 電源:AC 100~240V,50/60Hz
應(yīng)用領(lǐng)域
RPS MKS AX-7670 0190-47768 AMAT HDP CVD RKS廣泛應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積反應(yīng)控制,在半導(dǎo)體、光電子、太陽能等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價值。
常見問題解答
- Q: 如何安裝RPS MKS AX-7670 0190-47768 AMAT HDP CVD RKS? A: 請參考產(chǎn)品說明書進(jìn)行安裝。
- Q: 如何進(jìn)行系統(tǒng)校準(zhǔn)? A: 請參考產(chǎn)品說明書進(jìn)行校準(zhǔn)。
- Q: 如何進(jìn)行數(shù)據(jù)記錄和遠(yuǎn)程監(jiān)控? A: 請使用提供的軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)記錄和遠(yuǎn)程監(jiān)控。
- Q: 是否支持多種氣體控制? A: 是的,RPS MKS AX-7670 0190-47768 AMAT HDP CVD RKS可以實現(xiàn)對反應(yīng)過程中多種氣體的流量和壓力控制。
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