AMAT 0010-68129是Applied Materials(AMAT)生產(chǎn)的一款用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中的射頻匹配組件。具體來說，它通常作為Vectra IMP源的射頻匹配單元。射頻匹配單元的作用是將射頻發(fā)生器的輸出功率與等離子體負(fù)載進(jìn)行匹配，以實(shí)現(xiàn)高效的能量傳輸，從而達(dá)到最佳的蝕刻或沉積效果。
AMAT 0010-68129
主要功能與特點(diǎn)
射頻匹配:通過調(diào)整阻抗匹配，實(shí)現(xiàn)射頻功率的最大化傳輸。
保護(hù)設(shè)備:防止過高的反射功率對(duì)射頻發(fā)生器造成損壞。
提高工藝穩(wěn)定性:確保等離子體的穩(wěn)定性，提高工藝的重復(fù)性。
定制化設(shè)計(jì):根據(jù)不同的工藝需求，可以定制化的設(shè)計(jì)和制造。
應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造:主要用于半導(dǎo)體芯片的制造過程中，如等離子體蝕刻、沉積等工藝。
微電子制造:在其他微電子器件的制造過程中也有應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù)
頻率范圍:覆蓋設(shè)備所需的射頻頻率范圍。
功率容量:能夠承受的最大射頻功率。
阻抗匹配范圍:可以匹配的負(fù)載阻抗范圍。
冷卻方式:空氣冷卻或水冷。
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