Alcatel CF2P是一款高真空冷陰極潘寧(Penning)真空計,主要用于測量高真空環境下的壓力。它由法國阿爾卡特朗訊公司(現已被收購)研發制造,以其高精度、穩定性以及寬測量范圍而著稱。
主要特點
高精度測量:CF2P能夠在極高的真空度下提供精確的壓力測量,適用于對真空度要求極高的應用場景。
寬測量范圍:CF2P的測量范圍通常覆蓋10??到103mbar,能夠適應各種真空系統的需求。
穩定性高:采用冷陰極設計,具有較高的穩定性和可靠性。
結構緊湊:設計緊湊,易于安裝和維護。
耐用性強:適用于惡劣的工業環境。
工作原理
CF2P真空計的工作原理基于潘寧效應。在高電壓的作用下,電子在磁場中運動,與氣體分子碰撞產生離子。通過測量離子流強度,可以計算出氣體的壓力。
應用領域
半導體制造:用于控制和監測半導體制造過程中的真空度。
真空鍍膜:用于控制薄膜沉積過程中的真空度。
科研實驗:用于各種需要高真空的科研實驗。
真空冶煉:用于控制真空冶煉過程中的真空度。
技術參數
測量范圍:10??至103mbar
精度:±2%FS
響應時間:毫秒級
工作電壓:根據型號不同而異
工作溫度:-20℃至+70℃
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