AMAT 0190-72680通常指的是Applied Materials(應用材料公司)生產的一種電容式壓力計。這種壓力計常用于半導體制造等高真空環境中,用于精確測量低壓氣體。
產品特點
高精度:能夠精確測量低壓范圍內的氣體壓力。
快速響應:對壓力變化的響應速度快。
穩定性高:在長時間運行中能保持較高的穩定性。
耐用性強:設計用于惡劣的工業環境。
主要應用
半導體制造:用于控制和監測半導體制造過程中的真空度。
真空鍍膜:用于控制薄膜沉積過程中的真空度。
科研實驗:用于各種需要精確測量低壓的科研實驗。
技術參數
測量范圍:通常為0-10 Torr(具體范圍可能因型號而異)
精度:±0.5%FS(Full Scale)
響應時間:毫秒級
輸出信號:通常為模擬信號(如電壓或電流)
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