AMAT 0190-72680是Applied Materials（應用材料）公司生產的一款電容式壓力傳感器，通常用于半導體制造設備中測量低壓氣體。它具有高精度、快速響應和耐用性等特點，廣泛應用于半導體制造過程中的各種工藝環節。
AMAT 0190-72680
主要功能
壓力測量:高精度測量低壓氣體壓力，通常用于測量真空腔室內的壓力。
過程控制:將測得的壓力數據反饋給控制系統，實現對工藝過程的精確控制。
技術參數
測量范圍:0-10 Torr
精度:±0.5%FS
響應時間:毫秒級
輸出信號:模擬信號（如4-20mA）或數字信號
工作溫度范圍:-20°C至+60°C
連接方式:電纜連接
應用領域
半導體制造:用于半導體制造過程中的各種工藝環節，如沉積、刻蝕、清洗等。
真空技術:用于真空系統中的壓力測量。
科研實驗:用于科研實驗中的壓力測量。
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