AMAT 0090-07135
AMAT 0090-07135 是一款用于半導體制造的真空泵。它具有以下特點：
- 高抽速率
- 低噪音
- 低振動
- 長壽命
- 可靠性高
該產品適用于各種半導體制造工藝，包括：
- 晶圓清洗
- 刻蝕
- 沉積
- 薄膜沉積
- 封裝
產品參數
| 參數 | 值 | 單位 |
|---|---|---|
| 抽速率 | 1200 | CFM |
| 極限真空度 | 10^{-9} | Torr |
| 噪音 | < 65 | dB(A) |
| 振動 | < 0.1 | g |
| 壽命 | > 40000 | 小時 |
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應用領域
AMAT 0090-07135 廣泛應用于以下領域：
- 半導體制造
- 光電子器件制造
- 薄膜涂覆
- 科研機構
產品特點
- 采用渦輪分子泵技術，具有高抽速率、低噪音、低振動、長壽命等特點。
- 具有油氣分離系統，可有效防止油霧污染真空腔。
- 具有自動控制系統，可實現自動運行和故障報警。
產品優勢
- 高性能：AMAT 0090-07135 具有高抽速率、低噪音、低振動、長壽命等特點，可滿足各種半導體制造工藝的要求。
- 可靠性高：AMAT 0090-07135 采用成熟的設計和制造工藝，具有很高的可靠性。
- 易于維護：AMAT 0090-07135 的結構簡單，易于維護。
產品選型
AMAT 0090-07135 提供多種規格型號，可滿足不同用戶的需求。用戶可根據實際應用需求選擇合適的型號。
以下是一些選擇產品時需要考慮的因素：
- 抽速率：用戶需要根據真空腔的體積和工藝要求選擇合適的抽速率。
- 極限真空度：用戶需要根據工藝要求選擇合適的極限真空度。
- 噪音：用戶需要根據工作環境對噪音的要求選擇合適的噪音水平。
- 振動：用戶需要根據對振動敏感的設備選擇合適的振動水平。
- 尺寸：用戶需要根據安裝空間選擇合適的尺寸。
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