LAM 839-101612-885 半導體晶片

LAM 839-101612-885 是靜電吸盤 (ESC) 部件，用于 LAM Research Corporation 生產的半導體晶片蝕刻和灰化設備。它是半導體制造過程中的一個關鍵部件，可確保在蝕刻和灰化步驟中晶片被牢牢固定并正確對齊。
產品概述
產品名稱：LAM 839-101612-885
產品類型：靜電卡盤 (ESC) 元件
產品品牌： LAM Research CorporationLAM Research Corporation
產品制造商： LAM Research CorporationLAM Research Corporation
產品參數
零件編號： 839-101612-885
卡盤尺寸： 200mm
電壓范圍： 0-1000V0-1000V
電流容量： 10A
真空兼容性是
冷卻劑兼容性是
應用領域
半導體晶片蝕刻
半導體晶片灰化
產品特點
高夾持力，可安全夾持晶片
均勻的靜電場可實現精確的晶片對準
顆粒生成量低，可實現清潔處理
與各種蝕刻和灰化化學試劑兼容
結構耐用，使用壽命長
產品優勢
提高晶片蝕刻和灰化工藝性能
提高晶片產量和產品質量
減少工藝缺陷和顆粒污染
降低運營成本和維護費用
產品選擇
選擇合適的 LAM 839-101612-885 ESC 組件取決于特定的蝕刻和灰化應用、晶片尺寸和設備配置。

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